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电子技术研发评测中心

中国科学技术大学先进技术研究院研发评测中心聚焦电子技术、生物医药、新材料与先进制造、未来信息技术,主要从事技术加工、技术检测、项目培育、人才培养等工作。中心以企业需求为导向,市场化运作为手段,对外开放提供有偿服务。此外,平台也鼓励合作企业用自己的设备加盟,由中心提供设备托管和相应的技术支持,在保证原拥有者企业使用的基础上,对外开放。

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洁净室净化设备通道

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高分辨场发射扫描电镜

        电子技术研发评测中心立足于为周边地区的集成电路企业提供加工测试服务,针对产业共性技术需求,聚焦前沿核心共性技术,围绕最具应用前景的微纳加工、失效分析、封装测试、晶圆级测试、可靠性分析等技术服务方向。同时,通过与中国科学技术大学微纳研究与制造中心紧密合作,为用户提供图形发生、表征封装、材料蚀刻、薄膜制备等加工检测服务。

中心已采购的部分仪器设备:

高分辨场发射扫描电镜Carl Zeiss GeminiSEM 500;

钨灯丝扫描电子显微镜Carl Zeiss EVO 18;

数码显微镜Carl Zeiss SmartZoom 5;

三离子束切割仪Leica EM TIC3X;

高真空喷金喷碳镀膜仪Leica ACE600。